Всі кристалічні резонатори можуть, на теперішній час, виконуватися двома різними технологіями: труїть канавок в оксиді кремнію і металізацією топології над шаром оксиду кремнію. Обидва варіанти зверху покриваються захисною плівкою, або з оксиду, або з нітріда кремнію.
Теоретична різниця в методі формування топології показана на нижченаведених малюнках.
У випадку, використовуваному при тому, що труїть канавок безпосередньо в оксиді кремнію методом того, що рідинного труїть створюються щілини з скошеними стінками, дно яких лежить безпосередньо на монокристалічному кремнії. При використанні того, що плазмо-хімічного труїть, що виконується з подальшою металізацією алюмінію по поверхні оксиду кремнію, формуються прямі профілі.
Теоретична різниця між даними методами формування топології полягає лише у видаленні металу (алюмінію) з технологічного процесу при виборі методу того, що щілистого труїть. Проте, можна припустити, що також відбувається звуження діапазону взаємодії з ЕМІ за рахунок виключення металевих поверхонь і відповідних меж заломлення середовищ і різних кристалічних решіток.
Матеріали і …
Порівняння дії на воду структурізаторов типу Аквакластер випол →